簡易檢索 / 檢索結果

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    拋光墊溝槽微粒分佈觀測應用於玻璃晶圓化學機械平坦化研究
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 郭柏陞 指導教授: 陳炤彰 莊程媐
    • 本研究之目的為設計研發依商用拋光墊溝槽及其經過磨耗後之尺寸PDMS材料翻模複製的透明溝槽,並與玻璃黏合為一體之觀測模型,經過相似性轉換計算後利用粒子影像測速法(Particle Image Velo…
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